クリーン度維持活動

精密な半導体製造での重要なポイントとして、クリーン度維持という考え方が非常に大切です。
正確な製品製造を行っても、異物付着によって不具合を発生させてしまう要因の一つとなってしまう例が大きいので、当社はクリーン度維持に継続的に取り組んでいます。その活動の一部をご紹介いたします。

ウエハレーザマーキング装置 ・半導体ダイシング装置 チップ トレイ工程・チップ自動外観検査装置

クリーン度維持活動

■目的

半導体デバイスに異物を付着させない

■方法

  1. 異物の発生源を抑える
    異物・チリの発生を元から抑え、発生元を減少させる方法
  2. 異物を適切な方法で除去する
    異物に合わせた適切な除去方法をとる。

■活動内容

①クリーンルーム
天吊HEPA フィルター120 台設置
クリーンルーム クラス1,000(ISO クラス6)で管理
②設備のクリーン化
HEPA フィルターの設置  ダクトの取り付け
③外観エリアのクリーン化
クリーンベンチの設置 クラス100(ISO クラス5)で管理
④効果の確認
2回/月 パーティクル測定
⑤活動推進責任者の設置
⑥活動推進責任者による教育を行い意識高揚
⑦管理箇所の見える化
管理番号の表示

まず、①から③の設備にて対処を行い、④の定期的に確認することで維持ができているかをチェックします。
⑤から⑦の管理・教育をしていくことで、仕組みとして維持・管理が継続できるようにしています。

④を確認するため、下記の品質管理基準を設けています。(2008 年11 月現在)なお、この管理基準は変更される可能性があります。

品質管理ポイント

【用語の説明】

クリーンルームクラス1000(ISO クラス6)

クリーンルームクラス1000 というのは一辺が約30cm(1 フィート) の立方体の中の空気に、タバコの煙ほどの大きさの微粒子を1000 個以下しかないという意味です。このようなクリーンルームとは、少しの空気の汚れも許されないのです。測定規格は JIS B 9920:2002 です。

クリーンベンチ

クリーンベンチは、人工的に気流を作り出し、その気流を利用して微粒子等をフィルターで捕集するという働きを持っています。 クリーンベンチに限らず高度な空気浄化には、HEPA フィルターが使用されているのが一般的です。このフィルターは、ガラス繊維で形成された濾紙を織り込んで作られたもので、通常、0.3μm の粒子を99.97%以上捕集する性能を持っています。フィルターはチリを捕獲する目的と、濾過後の空気が均一な方向流を作って、遮断できる空気の流れを作る役目も果たしています。クリーンベンチの規格は、JIS B 9922:2001 で、フィルター規格は、JIS B 9927:2004 です。

パーティクル測定

パーティクル測定は、空気中にあるホコリや液体中にある微粒子や不純物などを計数することで、計測する機械を使用して、定期的に測定して維持ができているかを確認します。機械は粒子計測器といって、空気中のチリを数えたり、粒の大きさを測って、どこから発生しているか調べるために使います。測定規格はJIS B9921:2002 です。

機械へのダクトの取り付け

機械から出る空気には、チリやごみが混じっているものがあります。
そういったものには、ダクトを取り付けクリーンルーム内に汚れた空気が入らないように工夫しています。

機器排気ダクト

空気の流れ

クリーンルームの中で、一方に空気が流れるようにし、空気のチリが効率よく補足できるように、また空気吹き出し口から出た空気が塵を含んだ空気と混じりあわない工夫を取り入れ、クリーン度を維持できるようにしています。

空調と装置間の空気流れ

イオナイザーの採用

製品の製造時に、静電気によって埃が付着しては困る個所にイオナイザーを使っています。静電気を取り除くことによって、周りの異物吸着や絶縁破壊などによる歩留まりの低下を防ぐために使用します。
イオナイザーとは、イオンを発生させ、帯電した物体を逆極性のイオンで中和し静電気を除去する装置です。

静電気帯電防止 イオナイザー

クリーンブース作業

製品への作業を行う場所は、特にクリーン度を確保するために、クリーンブースを使用します。また、定期的な清掃を行うことで、地味ながらも確実な管理を行って、維持活動を意味のあるものにしています。

作業用 クリーンブース

人の目によるコンタミネーション管理者活動

素晴らしい設備を導入しても、管理しなければ維持ができているとは言えません。そこで定期的に管理者による巡回管理を組み合わせて、適切に維持がされているかを確認しています。

《推進責任者の活動内容》

●クリーン化管理教育

クリーンルームに入室する人全員に、教育をしています。

●クリーン化改善管理内容の承認

管理するときに、確認する項目や基準値が本当に適切かを、複数の目を使って確認することで、もれや落ち・間違いを未然に防止する活動です。

●クリーン化対策の維持、改善の推進

測定された数値や定期的なチェック・作業の状態を確認して、問題の未然防止項目の検討や改善につながるポイントを発見し手をかけることによって、確実な維持が行われるようにしています。

管理者 点検作業
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