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洗浄事業

Washing

超純水製造装置による精密部品の洗浄

超精密加工・検査を行うため、各工場にクリーンルームを設置し、さらに、超純水製造装置・酸アルカリ中和層・研磨排水プレス装置等の排水処理装置を備えています。超純水は再生装置により循環再生し、水資源の有効活用を図っています。

精密部品の洗浄

ウェハ自動外観検査

精密部品の洗浄には、当社の超純水プラントが、さまざまな分野で活用いただいております。八ヶ岳からの自然の恵みを生かし超純水(17MΩ)を安定的に使用し、精度の高い作業を実現しています。液中パーティクルセンサー、比抵抗計、PH測定器を利用し、厳しい品質保証体制を構築しています。また、オゾン水、酸素水等の機能水を利用した、環境にやさしい洗浄工程の研究を進め、目的に合せた洗浄方法にこだわって進めています。

超純水が可能にする高精度精密部品製造(超純水洗浄のメカニズム)

純水装置メカニズム

使用した汚水は再生

抗折強度測定器
排水リサイクル装置

製品の洗浄に使った排水は、排水処理装置で処理を行い、環境への影響を削減。半導体加工で使用された水は循環再生し、リサイクルしています。

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