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３Ｄパッケージのチップレットを実現するためのインターポーザを信頼性と熱特性に優れた無アルカリガラスを用いて作製し、微細な貫通孔を形成することが望まれます。
このために、近赤外短パルスレーザー光をガラスに照射して改質層を形成するためのオリジナルな光学系を備えたレーザー加工装置の開発や湿式法でのエッチング装置の開発を行っていきます。