加工事例

ウェハエッジトリミングとは

ウェハエッジトリミングは、ウェハの外周部を研削・研磨して欠けやクラックを防ぐ工程です。鋭利なエッジを滑らかに整えることで強度が高まり、搬送や後工程での割れリスクを低減します。

エッジ加工でよくある課題

エッジ加工では、条件が不適切だとチッピングや微細クラックが発生しやすくなります。また、後工程での破損要因となることもあります。安定品質には高度な制御が必要です。

割れ防止につながるポイント

割れを防ぐには、研削条件や砥石の選定を最適化し、エッジ形状を均一に仕上げることが重要です。さらに、リアルタイムでの検査やプロセス管理を徹底することで、欠陥を早期に抑制し、高い信頼性を持つウェハ加工が可能となります。

お客様の要望

薄化後のウェハで搬送時や後工程に割れが多発しており、歩留まりの低下が課題となっていました。エッジ部分の強度不足が原因と考えられ、量産工程に耐えられる安定したエッジ仕上げを求められました。

ニチワ工業の技術力

当社は過去に数多くのウェハエッジ加工実績を持ち、幅広い条件に問題なく対応できます。トリミング条件を一から設計し、砥石や条件を最適化。安定したエッジ品質を実現しました。

結果

割れ発生率を大幅に低減し、量産ラインでも安定した歩留まりを確保できました。エッジ強度の向上により後工程での破損も減少し、トータルでの生産効率が改善。お客様からは品質信頼性の向上を高く評価いただきました。