設備情報
Facility
主要設備情報
当社では、超精密加工・検査のための基本環境の構築をしております。各工場にクリーンルームを設備し、更に、本社工場には「超純水製造装置」「酸アルカリ中和漕、スラッチ（研磨排水）プレス機、スクラバーといった排水処理施設」を備えています。
| 装置名 | 型式 | メーカー | 台数 |
|---|---|---|---|
| 保護テープ貼り装置 | ATM-1100D | タカトリ | 1 |
| 保護テープ貼り装置 | ATM-3000 | タカトリ | 1 |
| 保護テープ貼り装置 | DR-3000Ⅱ | 日東電工 | 1 |
| 保護テープ貼り装置 | ATM-1100 | タカトリ | 1 |
| 裏面研削装置 | DFG8540 | ディスコ | 3 |
| 裏面研削装置 | DFG8560 | ディスコ | 2 |
| 裏面研削研磨CMP装置 | DGP8761 | ディスコ | 1 |
| 裏面研削研磨DP装置 | DGP8760 | ディスコ | 1 |
| 裏面研磨ドライポリッシュ装置 | DFP8140 | ディスコ | 1 |
| 裏面研磨ドライポリッシュ装置 | DFP8160 | ディスコ | 1 |
| 保護テープ剥離装置 | ATRM-2100D | タカトリ | 1 |
| 保護テープ剥離装置 | ATRM-2300TK | タカトリ | 1 |
| レーザーマーキング装置 | LAY-701ASAB | 芝浦メカトロニクス | 2 |
| ウェハ自動外観検査装置 | INSPECTRA1000-EX | 東レエンジニアリング | 1 |
| ウェハ自動外観検査装置 | Vi4303 | トプコン | 1 |
| テープマウンター | RAD-2500M/6 | リンテック | 1 |
| テープマウンター | RAD-2500M/8 | リンテック | 1 |
| テープマウンター | ATM8100S | タカトリ | 1 |
| テープマウンター | ATM8100X | タカトリ | 1 |
| テープマウンター | DFM2700 | ディスコ | 1 |
| フルオートダイシング装置 | DFD6340 | ディスコ | 8 |
| フルオートダイシング装置 | DFD6341 | ディスコ | 1 |
| フルオートダイシング装置 | DFD6361 | ディスコ | 3 |
| 定温水供給装置 | DTU152 | ディスコ | 3 |
| 定温水供給装置 | DTU1531 | ディスコ | 1 |
| CO2バブラー装置 | NDB-2 | 野村マイクロサイエンス | 1 |
| CO2バブラー装置 | NDB-3 | 野村マイクロサイエンス | 3 |
| CO2バブラー装置 | NDB-4 | 野村マイクロサイエンス | 2 |
| CO2バブラー装置 | RC2000ACD | NGKフィルテック | 1 |
| UV照射装置 | TUV-M | タカトリ | 2 |
| チップ選別機 | WCS-800 | エムテック | 8 |
| チップ選別機 | WCS-700C | エムテック | 12 |
| チップ選別機 | WCS-1200 | エムテック | 1 |
| チップ選別機 | CAP-300Ⅱ | キヤノンマシナリー | 2 |
| イントレイ自動外観検査装置 | ARM | NEC | 1 |
| イントレイ自動外観検査装置 | FRM | NEC | 5 |
| 金属顕微鏡 | BH3 | オリンパス | 1 |
| 金属顕微鏡 | BHM | オリンパス | 24 |
| 金属顕微鏡 | BHT | オリンパス | 4 |
| 金属顕微鏡 | MX50 | オリンパス | 3 |
| 金属顕微鏡 | NSL | オリンパス | 1 |
| 実体顕微鏡 | SMZL | ニコン | 1 |
| 結束機 | OP-301 | ニチロ工業 | 3 |
| 脱気シーラー | V-300 | 富士インパルス | 3 |
| 脱気シーラー | V-402-CH | 富士インパルス | 1 |
| 脱気シーラー | V-610C | 富士インパルス | 1 |
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