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ダイシング加工

Dicing Proccess

最適な加工技術でチッピングを
抑えた高品質なカットを提供します

ウェハーのチップ化は、ダイシング加工の工程が欠かせません。ウェハーの状況や設計要求事項によって、シングルカット・ステップカットその他 特殊カット仕様の立ち上げ経験をもっています。ダイシング加工に使用する機械は全て2軸機を保有しております。ウェハーにより最適なブレード、条件を選定し、チッピング を抑制したダイシング加工を基本技術として生かしています。
SiC、アルミナセラミック、メタル膜付WFについては、 レーザーダイシング装置を使用し、高品質にカットいたします。
ウェハ1枚からのダイシング加工試作も承ります。お気軽にお問合せください。

ダイシング加工 ダイシング加工サンプル

テープマウントされたウェハを高速回転のダイヤモンドブレードにて、個片状態に切り分けます。その際、切削用として、超純水をブレード、ウェハに掛けながらカット・加工します。

Dicing

ダイシング加工の特長

01

特長01高度な加工技術

ダイシング加工対応可能な素材が豊富

  • ガラス

    無アルカリガラス、テンパックスガラス、ホウケイ酸ガラス、サファイアガラス、青板ガラスなど

  • セラミック

    アルミナ、窒化ケイ素、SiCなど

  • シリコン

    パターン付き、ミラーウェハなど

  • その他

    ガラスエポキシ(ガラエポ)、ポリカーボネート、アクリル、各種金属(SUS等)、ゴムなど

ダイシング加工対応可能な素材が豊富

シングルカット
シングルカット1枚刃でカットします。
ステップカット
ステップカット2枚刃でカットします。
ベベルカット
ベベルカット2枚の刃を使ってV形状にカットします。
レーザーカット

難加工材のレーザーダイシング。
SiC、アルミナセラミック、メタル膜付WFについては、レーザーダイシング装置を使用し、高品質にカットいたします。

レーザーダイシング加工について
加工可能なウェハサイズ・厚み、チップサイズ
  • 加工できるもの

    ・シリコン ・化合物半導体 ・セラミック
    ・各種ガラス ・樹脂(ガラエポ等)

  • 加工が難しいもの

    ・金属厚板(薄膜等、一部加工できるものあり)
     ※ただし、レーザーにて切断できる可能性あり(外部協力会社にて)

  • 加工可能サイズ

    ・直径300mm以下

  • 加工可能厚み

    ・2mm以下(ただし、ワーク種類による)

02

特長02高品質な加工技術

1

チッピングの発生を無くし、様々なスクライブ幅に対応した加工技術

チッピング対策ノウハウも豊富に保有しており、セラミックやガラスもキレイにチッピング無しで切断することが可能。

チッピング対策改善例
改善前
改善前
改善後
改善後

2

様々なスクライブ幅に対応

様々なブレード、条件を用意しておりますので、広いスクライブ幅(150μm)から狭いスクライブ幅(40μm以下)までダイシングが可能です。 デュアルステップカットにより裏面チッピングの発生もありません。

3

アルミパッドの腐食防止

ダイシングでは、純水を掛け続けながら切削を実施するため、アルミパッドの腐食が発生する場合があります。 ニチワ工業では、切削条件、純水の改善により様々な腐食、汚れを防止するノウハウを持っております。

4

高度な寸法精度

お客様の要求に対応すべく、精度の高いダイシング加工を提供しております。

  • ダイシングのカットライン精度・・・±3μm
  • ダイシングのチッピング幅・・・10μm以下

03

特長031個からでも対応

Dicing Proccess

当社では、1個からダイシング加工を承っております。
各種素材の加工実績・ノウハウがありますので、お気軽にご相談ください。

ダイシング移載

レーザーダイシング

SiC、アルミナセラミック、メタル膜付ウェハを
高品質にカットいたします

従来のレーザー加工と違い、焦点合わせの必要が無く、平行なビームで加工が出来ます。
また、レーザーマイクロジェットでは、絶え間なく流れる水ジェットにより、加工物が効率良く冷却され、熱影響を抑える事が出来ます。

レーザーダイシング図解

保有装置設備

設備 対応サイズ 加工幅
(ノズル直径≒加工幅)
台数
レーザーダイサー 4~8インチ 30、40、50、60、70、80、100μm 1

バックメタル付きウェハに最適

表面部をブレードで加工し、裏面メタル部をレーザーマイクロジェットで加工する事により、メタル部のバリやヒゲの発生を大幅に 抑制する事ができます。

Contact

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