設備情報
Facility
主要設備情報
当社では、超精密加工・検査のための基本環境の構築をしております。各工場にクリーンルームを設備し、更に、本社工場には「超純水製造装置」「酸アルカリ中和漕、スラッチ（研磨排水）プレス機、スクラバーといった排水処理施設」を備えています。
| 装置名 | 型式 | メーカー | 台数 |
|---|---|---|---|
| 保護テープ貼り機 | ATM-1100D | タカトリ | 2 |
| 保護テープ貼り機 | DR3000 Ⅱ | 日東電工 | 1 |
| 保護テープ貼り機 | ATM-3000 | タカトリ | 1 |
| 保護テープ貼り機 | ATM-3100EF | タカトリ | 1 |
| テープマウンター | ATM-8100S | タカトリ | 1 |
| テープマウンター | ATM-8100X | タカトリ | 1 |
| テープマウンター | ATM-12100 | タカトリ | 1 |
| テープマウンター | DAM-812M | タカトリ | 1 |
| テープマウンター | DFM2700 | ディスコ | 1 |
| 保護テープ剥離装置 | ATRM-2100D | タカトリ | 1 |
| 保護テープ剥離装置 | ATRM-2300TKUV | タカトリ | 1 |
| 裏面研削装置（バックグラインダ） | DFG8540 | ディスコ | 3 |
| 裏面研削装置（バックグラインダ） | DFG8560 | ディスコ | 2 |
| 裏面研削研磨装置（バックグラインダ/ポリッシャー） | DGP8760 | ディスコ | 1 |
| 裏面研削研磨装置（バックグラインダ/ポリッシャー） | DGP8761 | ディスコ | 1 |
| 裏面研磨装置（ドライポリッシュ） | DFP8140 | ディスコ | 1 |
| 裏面研磨装置（ドライポリッシュ） | DFP8160 | ディスコ | 1 |
| 裏面レーザーマーキング装置 | LAY-701 | 芝浦メカトロニクス | 2 |
| ダイシング装置 | DFD6340 | ディスコ | 6 |
| ダイシング装置 | DFD6341 | ディスコ | 3 |
| ダイシング装置 | DFD6361 | ディスコ | 2 |
| ダイシング装置 | DFD6362 | ディスコ | 1 |
| チップトレイ詰め装置 | CT-200 | ミクロ技研工業 | 2 |
| チップトレイ詰め装置 | CT-300 | ミクロ技研工業 | 1 |
| チップトレイ詰め装置 | WCS-1200 | エムテック | 1 |
| チップトレイ詰め装置 | WCS-700C | エムテック | 12 |
| チップトレイ詰め装置 | WCS-800 | エムテック | 8 |
| ウェハ外観検査装置 | INSPECTRA1000-EX | 東レエンジニアリング | 1 |
| ウェハ外観検査装置 | VI-4303 | トプコン（タカノ） | 1 |
| イントレー外観検査装置 | FRM | NEC | 5 |
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